天合扩散用的什么设备
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【天合扩散用的什么设备】天合扩散用的太阳能电池扩散设备，扩散炉内产生的废气，再通过管道从机台排风端排出，机台排风端安装排风压力控制阀和相应的排风压力控制器 。抽气排风压力稳定后 ， 磷在硅片中的注入浓度稳定后，方块电阻也随之稳定，可以提升最终太阳能电池的效率 。太阳能电池扩散设备是太阳能电池片形成PN结的核心组件，扩散炉的质量直接影响到电池片的性能 。太阳能厂家流行的扩散方式有开管扩散、闭管扩散、软着陆扩散 ， 其中开管扩散的产量较低，偏磷酸的用量比较大 。
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