国产8英寸石墨烯晶圆亮相，据称已实现小批量生产
【国产8英寸石墨烯晶圆亮相，据称已实现小批量生产】近日举行的2020中国国际石墨烯创新大会上 ， 8英寸石墨烯单晶晶圆的亮相 ， 吸引了笔者的目光 。
有媒体报道称 ， 它「展示了我国在高质量石墨烯材料领域的创新成果」 。报道表示「在上海市石墨烯产业技术功能型平台的推动下 ， 科研团队实现了这些成果的小批量生产 ， 产品尺寸和质量处于国际『领跑』地位」 。
据悉 ， 中科院上海微系统所科研团队自2009年起瞄准石墨烯单晶制备及其电子器件应用的课题开始了攻关研究 。
中科院上海微系统所副研究员吴天如表示：「就像制造硅芯片的材料是一片片硅单晶晶圆 ， 想用石墨烯等碳基二维材料实现电子器件集成 ， 开启微电子技术变革 ， 就必须制备出大尺寸、高质量的石墨烯单晶晶圆 。」
科研团队在国家科技重大专项、上海市科技创新行动计划项目支持下 ， 从生长出单层到单晶 ， 再到原子级平整的大面积晶圆 ， 让石墨烯从用胶带剥离出几微米的样品 ， 升级为可以规模化生产的8英寸晶圆 。
为早日实现石墨烯晶圆量产 ， 中科院上海微系统所2019年9月与上海市石墨烯功能型平台签订了协议 ， 提供有成本竞争力的产业应用 。
石墨烯晶圆的小批量生产 ， 被认为是为新一代国产电子器件的研发奠定了基础 。
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